1.腔室尺寸：Ф246×228mm（具體尺寸以設計為準），1Cr18Ni9Ti**不銹鋼材質，氬弧焊接；整體可置于手套箱內；

      2.樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋轉：0-20r/min可調；基片可加熱至300±1℃（選配）

      3.真空系統：機械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥；

4.極限真空：8.0×10^-5Pa；

5.真空抽速：大氣～8×10^-4Pa ≤ 30min；

6.真空測量：全量程復合真空計，測量范圍：10⁵Pa～10^-5Pa；

7.蒸發源：3組水冷式電阻蒸發源，3組間可切換，源間有防污板；

           8.蒸發電源：直流蒸發電源1臺，0 W～2000W連續可調，供3組蒸發源切換使用；

           9.膜厚控制系統：進口Inficon SQM-160單水冷探頭，控制精度0.1?；

10           10.控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養維護提示等功能；

11          11.設備外形：L60cm×W60cm×H80cm機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口；

   12.設備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

 13.冷卻循環系統：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設備相關需水冷部件提供穩定的制冷水；